Drucksensor

Drucksensor,

 

Druckaufnehmer, Druckmessfühler, bei Druckmessungen ein den Druck selbst oder Druckunterschiede erfassender und in elektrische Signale wandelnder Sensor. Neben den Druckmessdosen, die mit Dehnungsmessstreifen oder kapazitiv (über die Änderung des Luftspaltes zwischen zwei Kondensatorplatten) beziehungsweise induktiv (Übertragung einer Membrandurchbiegung auf den Tauchanker einer Spule) arbeiten, kennt man piezoelektrische Drucksensoren, die den piezoelektrischen Effekt (Piezoelektrizität) ausnutzen, und auf dem piezoresistiven Effekt beruhende Halbleiterdrucksensoren: In eine n-dotierte Siliciummembran sind vier p-dotierte Piezowiderstände in Form einer Wheatstone-Brücke eindiffundiert oder implantiert, die ihren elektrischen Widerstand bei Verformung ändern; dadurch ändert sich in Abhängigkeit von dem auf die Membran wirkenden Druck die an der Brücke gemessene Spannung.